近期,,莱斯大学的科研团队开发出一种可规模化制造的金刚石散热层技术,,可将电子器件工作温度降低 23摄氏度,,为高功率芯片散热提供新的工程路径。。其研究团队提出的“自下而上”的金刚石生长方法,,即通过在芯片表面直接构建图案化金刚石层,,,,实现热量精准导出。。。。
该技术核心采用微波等离子体化学气相沉积工艺,,,,主要通过三个流程制作:利用光刻技术在芯片表面制作图案化 “模板”;铺设纳米金刚石 “晶核”,,,,为晶体生长奠定基础;含碳气体在微波作用下转化为等离子体,,碳原子沿晶核逐层生长,,,,形成高效导热金刚石层。。。。相比传统“自上而下”加工方式,,,这种新方法可避免材料损伤与高成本问题。。。。目前,,,该技术已成功扩展至2 英寸晶圆制造规模,,,,验证了规模化可行性。。。

金刚石散热主要方法:
1.热沉片:将金刚石热沉片切割加工成特定形状后,,,,紧密贴合在芯片表面,,,作为高效的“热量搬运工”将热量快速导出。。。这种方法工艺相对成熟,,,已应用于部分射频功率放大器和激光二极管等领域。。
2.金刚石复合材料:金刚石复合材料是一种由金刚石颗粒与Ag、、Cu、、、、AI等高导热金属基体结合而成的高性能复合材料,,结合了金刚石的超高热导性和金属材料的优良导电性,,广泛应用于高功率电子器件的散热领域。。
3.微通道冷却:在金刚石或金刚石复合材料中构建微米级的冷却通道,,,,通过内部流动的冷却液实现高效散热。。。这种方法适用于高热流密度的功率器件,,,,能有效控制温升,,提升器件寿命。。。。
4.化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜:通过微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)工艺,,在芯片表面直接生长出图案化的金刚石散热层。。。它能在非金刚石基底(如硅、、钨、、陶瓷等)上制备出纯度高、、、热导率接近天然金刚石的薄膜材料,,能有效实现规模化金刚石散热应用。。。。
金刚石散热技术正处于“从0到1”走向“大规模渗透”的过程。。。虽然目前仍面临不少挑战,,,但在AI算力爆发和技术发展的双重驱动下,,,,未来,,,它会在芯片封装、、、、AI服务器和新能源汽车等方面继续发挥重要作用。。。。