金刚石基氮化铝

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    金刚石基氮化铝

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    摇摆曲线半峰宽

    XRD(0002)<3°

    金刚石超高热导率

    热导率可达2000W/m.K

    生长面表面粗糙度

    Ra<2nm(200nm)

    全球首创产品

    助力高品质GaN外延生长

    三耳重工全球首创,,,,创新研发金刚石基氮化铝,,,,XRD(0002)摇摆曲线半峰宽<3°, 金刚石超高热导率(室温下热导率可达2000W/m.K),生长面表面粗糙度Ra<2nm(氮化铝厚度200nm),,,助力氮化铝崭新应用。。。 


    氮化铝是极具应用潜力的超宽禁带半导体材料,,,,具有很多优良的性质,,如其禁带宽度高达6.2eV,,,同时具有高击穿场强、、、高饱和电子迁移率、、、、高化学和热稳定性,,及高导热、、、抗辐射等优异性能,,,,因此氮化铝是紫外/深紫外LED、、、、紫外LD最佳衬底材料,,,也是高功率、、、、高频电子器件理想衬底材料。。。。此外,,氮化铝具有优良的压电性、、高的声表面波传播速度和较高的机电耦合系数,,,,是GHz级声表面波器件的优选压电材料。。。。

     

    氮化铝的优势

    • 直接带隙,,禁带宽度6.2eV,,,,是重要的深紫外和紫外发光材料

    • 高击穿电场强度、、、高热导率、、高绝缘性、、低介电常数、、、低热膨胀系数、、机械性能好、、、耐腐蚀,,,常用于高温高频高功率器件

    • 非常好的压电性能(特别是沿C轴方向),,是目前制备各种传感器、、驱动器以及滤波器的最佳材料之一

    • 与GaN晶体有非常接近的晶格常数和热膨胀系数,,,是异质外延生长GaN基光电器件的优选衬底材料

     

    氮化铝具备优异的物理性能:

    • 原子间以共价键相结合,,化学稳定性好、、、、熔点高;

    • 机械强度高、、电绝缘性能佳,,,,是一种压电和介电材料;

    • 晶体薄膜硬度高,,,,可作为耐磨涂层;

    • 高电阻率、、、较低的漏电流以及大的击穿场强,,使得其成为微电子器件中绝缘埋层材料的最佳选择之一;

    • 制备工艺与CMOS兼容,,,可以和其他器件集成到同一芯片上;

    • 具备非铁电材料中最好的声波传播速度,,,且拥有无与伦比的压电响应,,,,可用于制作高性能的声表器件;

    • 是一种宽禁带材料,,,并具有直接带隙,,,是重要的蓝光和紫外发光材料;

    • 沿c轴取向具有非常好的压电性和声表面波高速传播性能,,传声速度快,,,是所有无机非铁性压电材料中最高的。。


    金刚石基氮化铝(AIN on diamond-003)


    基底材料(Substrate):200μm~500μm;多晶

    尺寸(inch):1cm*1cm; 2寸;可定制 

    AlN外延厚度(Thickness):5~200nm,可定制

    晶面取向(Orientation):c-aixs [0001]

    表面粗糙度(nm)(5x5μm):Ra < 2nm (200nm)

    HRXRD半高宽@(0002):<3°

    翘曲度(Warp):<30μm

    弯曲度(Bow):-10 ~15μm

    包装(Packaging):单片/多片晶圆盒

    应用领域

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